ワッティーが提供する『ガス供給ユニット』をご紹介します。
使用配管グレードは、SUS316L BA、EP（WEP）で、
φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチの配管径に対応。
溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っております。
【特長】
■クリーンルーム内で一貫生産（クラス100、1000）
■CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、
ベントライン設計・製造
■多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ
■溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っている
■短納期、少量製作にも対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
▼お問い合わせ先
TEL：相模原事業所 042-704-5352
MAIL：info@watty.co.jp
基本情報「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も
【仕様（一部）】
■製造環境：クリーンルーム クラス100/1000
■対応部品メーカ：フジキン、スウェージロック、キッツエスシーティー、
タバイエステック、CKDほか多数
■使用配管グレード：SUS316L BA、EP（WEP）
■対応配管径：φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も
取扱企業「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も
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センサー事業部ではフロートスイッチ、レベルスイッチ、レベルセンサなど 呼び方は様々ですが、液体の水位制御に最適な磁気式、光学式、電極式、 超音波式を応用した液面センサをご提案します。 熱システム事業部では主に半導体製造装置や医療器具向けの 高精度なヒータの設計・製作、ALD成膜装置の製造販売・受託作業等を行っております。 お客さまの希望に合わせた設計から生産までワッティーにお任せください。 【取扱製品】 ・窒化アルミ（セラミック）ヒータ ・シリコンラバーヒータ ・ポリイミドヒータ ・マイカヒータ ・カートリッジヒータ ・ヒートエクスチェンジャー（ガス加熱器） ・マントルヒータ（ジャケットヒータ） ・イージートレースヒータ ・テープヒータ ・シリコンベルトヒータ ・ヒータASSY ・ユニットASSY ・ALD（原子層堆積）装置 ・ALD受託成膜サービス
「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作もへのお問い合わせ
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