株式会社東北テクノアーチ 【東北大学技術】位置制御可能な遷移金属ダイカルコゲナイド合成方法

遷移金属ダイカルコゲナイド（TMD）は、原子オーダーの厚みを持つ
原子層物質で、可視光領域にバンドギャップを持ち半導体特性を有します。

TMDを各種デバイスに適用するためには、合成位置の制御が必要不可欠
となりますが、従来の合成方法では合成位置の制御ができないという課題が
ありました。

本発明は、上記課題を解決し、微小凸部を成長核として、単結晶TMDまたは
ヘテロ接合TMDを位置制御して合成でき、さらにサイズのばらつきを抑えられる
単結晶TMDの合成方法を提供することが可能となりました。

【特長】
■サイズのばらつきを抑え、単結晶の合成が可能
■単結晶TMDまたはヘテロ接合TMDを位置制御して合成

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