株式会社東北テクノアーチ 【東北大学技術】誘電率の測定装置及び方法

誘電体は、各種の電子機器に利用されており、近年の電子機器の小型化により、
電子機器に用いられる誘電体が微細化する傾向にあります。

このため、微細なキャパシタ構造の誘電率を精度よく測定することができる
技術の開発が望まれています。

しかしながら、キャパシタ構造が微細になると、寄生容量の影響が相対的に
大きくなり、誘電体の静電容量を正確に測定することが難しくなるため、
誘電率を精度よく測定することが困難となります。

本発明は、微小領域の誘電率を精度よく測定することができる誘電率の
測定方法に関する技術です。

【本発明で実現が期待されること】
■リークの大きい薄膜・セラミックスの誘電率計測
■誘電体ナノシートなどナノ構造体の誘電率の直接定量評価
■誘電率の微視的な面内ばらつきに関する定量評価
■マイクロ波帯の誘電率を比較的簡便な方法で計測

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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