株式会社パスカル モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備!モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着

『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE(PLD)
システムです。

1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。
モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。

また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を
簡単交換できます。

【特長】
■操作性が高くコンパクト
■到達真空度:6.7×10^-7Pa(5×10^-9Torr)以下
■モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
■1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニット
■6種類のターゲットが使用可

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

【その他の特長】
■スキャニングRHEEDを標準装備
■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換
■完全コンピュータ制御

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログモバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

取扱企業モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

パスカル.PNG

株式会社パスカル

【取扱製品】 ■真空薄膜形成装置/成膜装置 ■表面分析装置 ■極低温冷凍機システム ■真空部品・コンポーネント ■その他各種取扱製品

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