モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD）
システムです。

1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。
モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。

また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を
簡単交換できます。

【特長】
■操作性が高くコンパクト
■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下
■モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
■1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニット
■6種類のターゲットが使用可

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）