扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用できます
『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。
基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の
いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。
また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を
簡単交換いただけます。
【特長】
■拡張性が高い
■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下
■6種類のターゲットが使用可
■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換
■オプションポート：各種コンポーネント取付可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』
【その他の特長】
■基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の
いずれかを選択可能
■コンピュータによる完全自動制御とコントローラでの
エレクトロマニュアル制御のいずれか、または両方を選択可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログコンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』
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