コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。

基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の
いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。

また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を
簡単交換いただけます。

【特長】
■拡張性が高い
■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下
■6種類のターゲットが使用可
■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換
■オプションポート：各種コンポーネント取付可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）