当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。
コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。
真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。
エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識により、パッケージソリューションをご提供いたします。
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基本情報コーティングプロセス向け真空ソリューション
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、CVD、プラズマCVD、プラズマ重合 |
カタログコーティングプロセス向け真空ソリューション
取扱企業コーティングプロセス向け真空ソリューション
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事業内容 ： 各種真空ポンプ、真空計、排ガス処理装置の製造販売 主な製品 ： ロータリーポンプ(オイルポンプ)/ドライブポンプ/ターボ分子ポンプ/拡散ポンプ/真空計(真空ゲージ)/バルブ/フィッティング/排ガス処理装置(除外装置) 主なユーザー ： 製造業全般（半導体、電子部品・電子回路、自動車、化学工業、医薬品、鉄鋼業、食料品、電力、産業機械）、大学官公庁、研究機関 エドワーズ日本法人は、1971年に設立され、約半世紀にわたり事業を展開してきました。 ターボ分子ポンプの開発・製造を行っている八千代工場（千葉県）、ポンプの修理サービス工場である伊那工場（長野県）、日本全国をカバーする営業・サービス拠点を有しております。 磁気軸受式ターボ分子ポンプは、最高性能と品質を誇り、日本国内で研究開発、製造されている自慢のプロダクトであります。 その高い開発力・技術力の維持発展は、我々日本法人の強みであり、自信を持って日本を始め世界のお客様に製品をお届けしております。 日本法人では、ISO9001、ISO14001の認証を取得しております。
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