キヤノンアネルバ株式会社 真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』
- 最終更新日：2023-01-24 13:12:35.0
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無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。
磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に
埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、
活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。
油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。
【特長】
■完全オイルフリー
■超高真空、極超真空
■無人運転
■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』
【その他の特長】
■油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる
■10^-1Pa～10^-9Paの圧力範囲で動作、極高真空の作成に好適
■運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利
■二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっている
(アルゴンで空気の約21％)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系 ■電子顕微鏡、表面分析装置 ■粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置 ■電子管などの真空保持ポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』
取扱企業真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』
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■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス
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