真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。

磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に
埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、
活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。

油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。

【特長】
■完全オイルフリー
■超高真空、極超真空
■無人運転
■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）