キヤノンアネルバ株式会社 極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』
- 最終更新日：2023-01-24 13:10:40.0
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40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。
イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した
ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。
また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。
【特長】
■UHV、XHV領域での高い排気能力
■高効率ベーキングの実現
■小型、軽量
■クリーンルーム対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』
【その他の特長】
■新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ)
モジュールにより、10^-10Pa台を実現
■組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
■40％のサイズダウン(当社比)
■カバー、マグネットなどの塗装には、スムーズな表面の耐熱塗装が施されている
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系 ■電子顕微鏡、表面分析装置 ■粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置 ■電子管などの真空保持ポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』
取扱企業極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』
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■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス
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