極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。

イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した
ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。

また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。

【特長】
■UHV、XHV領域での高い排気能力
■高効率ベーキングの実現
■小型、軽量
■クリーンルーム対応

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