チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプキヤノンアネルバ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的です

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、
チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、
金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。

イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。

また、小型軽量で取付場所を選びません。

【特長】
■オイルフリーの超高真空
■経済的
■コンパクト設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/pu_detail0…

基本情報チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

【その他の特長】
■イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能
■イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用すると、
　大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的
■小型軽量で取付場所を選ばない
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■お手持ちの真空ポンプ(イオンポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等) 　排気系の排気時間の短縮、到達圧力の向上、排気量の増加を図りたい場合に効果的 ■蒸着、焼鈍、管球排気装置等の超高真空を必要とする装置において、プロセス途中で　大量のガス放出がある場合に効果的 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。