チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、
チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、
金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。

イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。

また、小型軽量で取付場所を選びません。

【特長】
■オイルフリーの超高真空
■経済的
■コンパクト設計

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