キヤノンアネルバ株式会社 真空ポンプ『コンビネーションポンプ』
- 最終更新日：2023-01-24 13:06:33.0
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排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水もれの心配はありません
『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型
イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの
有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、
大排気速度を安い価格で得られます。
また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない
超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。
【特長】
■大排気速度
■軽量でコンパクト
■安全設計
■清浄な超高真空
■液体窒素が不要
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報真空ポンプ『コンビネーションポンプ』
【ラインアップ】
■400L/s コンビネーションポンプ
■800L/s コンビネーションポンプ
■1600L/s コンビネーションポンプ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■蒸着装置、電子顕微鏡、質量分析装置、真空炉、各種分析装置、実験装置、排気装置 ■その他ガス放出の多い超高真空系 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ真空ポンプ『コンビネーションポンプ』
取扱企業真空ポンプ『コンビネーションポンプ』
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■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス
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