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最終更新日:2022-05-18 20:02:37.0

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真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』 製品画像

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型
イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの
有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、
大排気速度を安い価格で得られます。

また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない
超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。

【特長】
■大排気速度
■軽量でコンパクト
■安全設計
■清浄な超高真空
■液体窒素が不要

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス

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