POWERシリーズ　高性能クライオポンプ(小型) キヤノンアネルバ

吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現しました

POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を
向上させた高性能型のクライオポンプです。

振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。

マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる
ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。

【特長】
■ヒータレスで安全な高速再生を実現
■実用性に優れた起動特性と温度安定性
■低振動
■アルゴン排気容量の限界値ギリギリまで良好な排気性能を持続
■冷凍能力を大幅にアップ、安定した水素排気性能を長時間持続

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/pu_detail0…

基本情報POWERシリーズ　高性能クライオポンプ(小型)

【その他の特長】
■ヒータを使用していないので、火花や放電、漏電などの心配はない
■マルチ運転ポンプへのアンバランスな熱負荷侵入に対する耐性を大幅
に向上
■熱負荷に強い、より安定した運転が可能
■12インチクライオポンプでもトリプル運転が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■半導体製造装置(スパッタ装置、イオン注入装置) ■電子部品製造装置 ■真空蒸着装置 ■真空炉、スペースチャンバ ■加速器 ■各種高真空装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。