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最終更新日:2022-05-18 20:02:37.0

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POWERシリーズ 高性能クライオポンプ(小型)

POWERシリーズ 高性能クライオポンプ(小型)

POWERシリーズ 高性能クライオポンプ(小型) 製品画像

POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を
向上させた高性能型のクライオポンプです。

振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。

マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる
ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。

【特長】
■ヒータレスで安全な高速再生を実現
■実用性に優れた起動特性と温度安定性
■低振動
■アルゴン排気容量の限界値ギリギリまで良好な排気性能を持続
■冷凍能力を大幅にアップ、安定した水素排気性能を長時間持続

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 POWERシリーズ 高性能クライオポンプ(小型)

キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス

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