超高真空L型オールメタルバルブキヤノンアネルバ

優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能

『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる
全金属製の製品です。

バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも
オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。

全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、
弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を
採用しています。

【特長】
■超高真空領域用
■Capturingシール構造
■優れた許容加熱性
■容易なガスケットの交換
■並列配管接続可能(951-7148ミニメタルバルブを除く)
■容易なメンテナンス

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/val_detail…

基本情報超高真空L型オールメタルバルブ

【ラインアップ】
■951-7148
■951-7150
■951-7152

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