超高真空L型オールメタルバルブ

『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる
全金属製の製品です。

バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも
オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。

全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、
弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を
採用しています。

【特長】
■超高真空領域用
■Capturingシール構造
■優れた許容加熱性
■容易なガスケットの交換
■並列配管接続可能(951-7148ミニメタルバルブを除く)
■容易なメンテナンス

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）