キヤノンアネルバ株式会社 あら引きバルブ『Vシリーズ』
- 最終更新日:2023-01-23 16:28:22.0
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小型化と低価格を実現!高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブに好適
『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。
真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。
高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。
また、圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用の
ポジションセンサスイッチを装備しています。
【特長】
■10^-4Pa程度の高真空領域まで使用可能
■軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用
■開閉ポジションセンサスイッチ装備
■駆動方式
・圧空
・手動
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報あら引きバルブ『Vシリーズ』
【ラインアップ】
■V-025RV-CN
■V-025RV-MN
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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