あら引きバルブ『Vシリーズ』

『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。

真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。

高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。
また、圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用の
ポジションセンサスイッチを装備しています。

【特長】
■10^-4Pa程度の高真空領域まで使用可能
■軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用
■開閉ポジションセンサスイッチ装備
■駆動方式
　・圧空
　・手動

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）