超高真空バリアブルリークバルブキヤノンアネルバ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節ができます

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を
必要とする真空装置に使用する製品です。

調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と
きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。

また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、
超高真空装置用に適しています。

【特長】
■熱と外部衝撃に強いシール部
■微少ガス流量を安定調節
■優れた許容加熱性
■広範囲ガス流量の調節が可能
■超高真空接続可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/val_detail…

基本情報超高真空バリアブルリークバルブ

【仕様(抜粋)】
■使用真空領域：大気圧～10^-8Pa程度
■調節可能最少リーク量：6.7×10^-9Pa・m3/sec以下
■バルブ全閉時リーク量：6.7×10^-11Pa・m3/sec以下
■許容加熱温度：450℃(開閉いずれも可)
■ガスケットの寿命
　・約300回シール(室温使用時)
　・約30回シール(ベーキングを伴う場合)(ガスケット交換可能)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■導入ガス流量の調節を必要とする真空装置 ■スパッタ装置、ガス分析装置 ■物理学実験・研究用装置等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。