超高真空バリアブルリークバルブ

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を
必要とする真空装置に使用する製品です。

調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と
きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。

また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、
超高真空装置用に適しています。

【特長】
■熱と外部衝撃に強いシール部
■微少ガス流量を安定調節
■優れた許容加熱性
■広範囲ガス流量の調節が可能
■超高真空接続可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）