伸栄化学産業株式会社 水処理装置【導入事例】半導体製造プロセス

ダイサ排水を再利用!装置のコンパクト化により設置スペースの制限が少なくなりました

某半導体製造装置メーカー様は、ダイシング工程からの排水リサイクル実現を
目標に掲げていました。

そこで当社は、排水の回収で環境負荷低減が実現できる、使い勝手のよい
水処理装置の開発を進め、精密ろ過技術を導入。

その結果、環境負荷やランニングコストを低減することができ、更に装置の
コンパクト化により、メンテナンスが簡素化されました。

【事例概要】
■背景
 ・ダイシング工程からの排水リサイクル実現を目標に掲げている
■解決方法
 ・ダイシング工程から排出される切削屑をMF膜で処理
 ・回収水はリサイクルされ洗浄用水に再現
 ・恒温水装置を組込み一体型でコンパクトにする

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報水処理装置【導入事例】半導体製造プロセス

【効果】
■環境負荷もランニングコストも低減
■装置のコンパクト化により設置スペースの制限が少なくなり多面的応用が可能となった
■装置メンテナンスが簡素化され経済的メリットを与える

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取扱企業水処理装置【導入事例】半導体製造プロセス

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伸栄化学産業株式会社

■化成品事業  工業薬品:ソーダ製品類/無機薬品類/有機薬品・溶剤類  表面処理資機材:機器類/メッキ・アルマイト用薬品類/非鉄金属・貴金属類/塗装用薬品・資材類  理化学機器・試薬:実験室用設備機器類 ■水処理事業  水処理装置・機器・設備:純水・超純水製造装置/逆浸透膜装置/電気再生式純水装置/各種ろ過装置/廃水処理装置/カートリッジ式純水器/フィルター類/イオン交換樹脂/RO・NF・UF・MF・脱気膜/活性炭類 ■プラントシステムエンジニアリング事業   水処理装置・設備の設計、製作、施工、メンテナンス

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