株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) フローコントロールシステム『超小型 FCS-P』
- 最終更新日：2022-06-29 14:09:31.0
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『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した
フローコントロールシステムです。
取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。
フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な
ガス種に対応します。
【特長】
■小型かつ軽量
■流量精度が既存モデルより向上
■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない
■応答時間が0.5秒以下
■取り付け姿勢の影響を受けない
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報フローコントロールシステム『超小型 FCS-P』
【その他の特長】
■流量自己診断機能を搭載
■ガス種を選ばない
■フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで
様々なガス種に対応
■RoHS対応
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業フローコントロールシステム『超小型 FCS-P』
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株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞ 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 ＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞ フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。
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