株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)新本社
最終更新日：2024-10-31 10:33:51.0
フローコントロールシステム FCS Pressure SeriesNo.712-01-N
基本情報フローコントロールシステム FCS Pressure Series
超高純度用、圧力制御方式を採用した、流量制御機器です。
【特長】1．供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません 2．応答時間が0.5秒以下と早い 3．取り付け姿勢の影響を受けません （マウントポジションフリー） 4． 流量自己診断機能の搭載 5．ガス種を選びません 6.．RoHS対応
システム【流量制御機器】FCS Pressure Series
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない
高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム
【特徴】
○シンプルでデットスペースレスな構造
○優れた圧力変動特性
上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため
上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ
ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成
○フローファクターの採用
様々なガス種に対応可能
○優れた精度
○流量自己診断機能の搭載
○すばやい応答性
○マウントポジションフリー
○デバイスネット通信にも対応
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）
株式会社フジキン『マスフローコントローラ』
フジキンのFCSシリーズは、さまざまな産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。FCSシリーズでは、FCS-Pressure(圧力制御方式)シリーズと、FCS-Thermal(熱式流量センサ制御方式)シリーズの制御方式の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。 （詳細を見る）
フローコントロールシステム『超小型 FCS-P』
『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した
フローコントロールシステムです。
取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。
フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な
ガス種に対応します。
【特長】
■小型かつ軽量
■流量精度が既存モデルより向上
■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない
■応答時間が0.5秒以下
■取り付け姿勢の影響を受けない
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 フローコントロールシステム FCS Pressure Series
株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞ 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 ＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞ フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。
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