株式会社清和光学製作所 半導体内部観察顕微鏡『NIR2021-200』
- 最終更新日：2022-08-03 10:38:57.0
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1.3メガSWIRカメラ搭載！チップ内部のメタル配線、ダイボンディングなどの観察に好適
『NIR2021-200』は、赤外光の透過・反射特性を利用してシリコンウェハや
チップ、MEMS、CSPなど半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です。
1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、
近赤外画像でありながら、高解像画像の取得が可能。
SWIRカメラで感度の高い近赤外1100-1700nm域専用に独自設計した結像鏡筒と
PEIR対物レンズシリーズにより、厚ウェハ、高濃度ウェハでも高コントラストな
画像が取得できます。
【特長】
■1.3メガSWIRカメラ搭載
■可視域を通さない実装されたICチップなどの内部観察ができる
■高パワー近赤外ハロゲン光源をセットアップ
■対物レンズ100x使用時も明るい画像が得られる
■8インチウェハー搭載ステージを装備
■除振台、ウェハーローダーなどのオプションもご提案可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報半導体内部観察顕微鏡『NIR2021-200』
【標準構成品（抜粋）】
■超耐熱ファイバーライトガイド
■バンドパスフィルタ1100nm
■NIRハロゲン光源
■ステージ
■8インチウェハホルダ
■ビューワーソフト
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■チップ内部のメタル配線、ダイボンディングなどの観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ半導体内部観察顕微鏡『NIR2021-200』
取扱企業半導体内部観察顕微鏡『NIR2021-200』
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光学機器の設計、製造、販売 1.顕微鏡 2.マシンビジョン及び周辺機器 （光学機器・照明機器・映像機器・FA実装及び半導体関連装置) 3.FPD及び半導体用製造装置 / 検査装置 （露光装置、検査装置、レーザ機器) 4.機器のサービス＆メンテナンス 5.新市場向新開発製品
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