半導体内部観察顕微鏡『NIR2021-200』

『NIR2021-200』は、赤外光の透過・反射特性を利用してシリコンウェハや
チップ、MEMS、CSPなど半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です。

1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、
近赤外画像でありながら、高解像画像の取得が可能。

SWIRカメラで感度の高い近赤外1100-1700nm域専用に独自設計した結像鏡筒と
PEIR対物レンズシリーズにより、厚ウェハ、高濃度ウェハでも高コントラストな
画像が取得できます。

【特長】
■1.3メガSWIRカメラ搭載
■可視域を通さない実装されたICチップなどの内部観察ができる
■高パワー近赤外ハロゲン光源をセットアップ
■対物レンズ100x使用時も明るい画像が得られる
■8インチウェハー搭載ステージを装備
■除振台、ウェハーローダーなどのオプションもご提案可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）