メトロームジャパン株式会社 【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理
- 最終更新日：2023-03-06 09:32:11.0
- 印刷用ページ
ウェハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインライン近赤外分析計でモニタリング！
半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。
試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法（NIRS）によるインライン分析が有効です。
オンライン分析計 プロセス分析計 インライン分析計
基本情報【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理
詳細はダウンロードより！
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | インラインNIR分析計 |
| 用途／実績例 | 冊子は無料ダウンロードできます。 |
カタログ【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理
取扱企業【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理
-
-
● 電位差自動滴定装置 ● カールフィッシャー水分計 ● イオンクロマトグラフ ● 近赤外分光分析計 ● ラマン分光計 ● pH計 導電率計 ● イオン計 ● 酸化安定性試験装置 ● ボルタンメトリー（VA） ● CVS分析計 ● 電気化学測定装置（ポテンショスタット/ガルバノスタット） 【装置は3年間保証】 【アクセサリ/消耗品は製造終了後10年間保証】 【ソフトウェアは装置製造終了後5年間サポート保証】 【アニオンサプレッサは10年間保証】
【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
