アローズエンジニアリング株式会社 雷対策に好適!半導体・ウェハー業界の瞬時電圧低下保護装置活用例

瞬低発生による製品生産ストップを回避! 半導体・ウェハー・FPD業界のトラブル例と瞬時電圧低下保護装置活用成功例を一部紹介!

「瞬停」とはごく短時間、瞬間的に生じる電圧低下のこと。

対策装置はUPS(無停電電源装置)からVSP(瞬時電圧低下保護装置)へ!
VSP(Voltage Sag Protector)は、SAG(瞬時電圧低下)を対象にした、短時間の電源補償をおこなう装置です。

半導体・ウェハー・FPD業界で雷などによる瞬低でよく起こる事故・トラブル:
■半導体製造装置不良の発生(歩留率の低下)
■半導体生産計画の遅れ(納期遅延)
■製品不良や装置立上時間ロスによる原価上昇
■関わる方々への信頼性の低下

瞬時電圧低下保護装置導入による成功例
■半導体の品質安定性の向上
■装置のメンテナンスフリー化、13年~15年の長寿命
■ランディングコストが最大12分の1と省エネ
■導入コストが安い
■フットプリントが小さいのでクリーンルームでの有効活用が可能
■有害物質未使用

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。

基本情報雷対策に好適!半導体・ウェハー業界の瞬時電圧低下保護装置活用例

【ラインナップ】
単相 100V~120VAC 300VA~10kVA
単相 200V~240VAC 300VA~10kVA
3相  200V~240VAC 5kVA~120kVA
3相  380V~44VAC 5kVA~150kVA

【特徴】
■超高性能、瞬時発生時からわずか1/8サイクルで完全にバックアップ
■メンテナンスフリー長寿命(使用期間13~15年間)
■環境に配慮し、安全(無騒音・無振動・無発熱・無鉛)
■電気二重層コンデンサー採用・バッテリーレス・冷却ファンレス
■緊急時のBypass機能・スマートディスプレイ搭載
■瞬低履歴の確認・時計機能搭載
■SEMI F47-0706対応・CEマーキング適合

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精密製造装置の瞬低対策

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取扱企業雷対策に好適!半導体・ウェハー業界の瞬時電圧低下保護装置活用例

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1.半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売 2.各種半導体装置周辺機器の修理・オーバーホール 3.半導体製造装置の付帯設備工事及び保守・保全 4.中古半導体装置及び中古ユニット・中古部品の販売 5.金属機械加工・特殊樹脂加工の設計・製造・販売 6.瞬低保護装置(VoltageSagProtector)の製造販売 7.各種検査機器・顕微鏡の販売 8.工業薬品の販売

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