N2、Air、H2、He等が対象！幅広い流量レンジに対応するスタンダードマスフローコントローラ
当社で取り扱う、スタンダードマスフローコントローラ『MODEL 3660 SERIES』
をご紹介します。
N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応。
対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は10SCCM～100SLMと
なっております。
【特長】
■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
■最大流量：気体 10SCCM～100SLM
■精度：±1～1.5％F.S.
■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報MODEL 3660 SERIES
【標準仕様（抜粋）】
■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉）
■再現性：±0.5％F.S
■入口最大圧：500kPa（G）
■許容周囲温度：5～45℃
■重量
・3660：約1000g
・3665：約1500g
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログMODEL 3660 SERIES
取扱企業MODEL 3660 SERIES
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コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
面積式流量計、流体制御バルブ、電子式流量計、各種流体制御装置、 窒素・酸素・オゾンガス発生装置、燃料電池評価装置、脱臭装置、水処理装置等の製造販売
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