【分析事例】撥水箇所の成分分析一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です

密着不良などの不具合の原因を探るためには、ウエハやデバイスの表面の知見を得ることは重要です。今回、シリコンウエハ上に撥水箇所が確認されたため、TOF-SIMSで広域イメージングを実施しました。その結果、撥水箇所からはシリコーンオイル、CF系グリース、パラフィンオイルと推定される成分が確認されました。TOF-SIMSは通常500μm角までの測定視野となりますが、ステージを動かしながら測定することで、広域の分布評価を行えます。
測定法：TOF-SIMS
製品分野：デバイス、ディスプレイ、電子部品、製造装置
分析目的：定性、イメージング、組成分布評価

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用途／実績例	照明、ディスプレイ、酸化物半導体、パワーデバイス、光デバイス、LSI・メモリ、電子部品、製造装置・部品、高分子材料、日用品の分析です。

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【分析事例】撥水箇所の成分分析_C0686

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