シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹介
当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。
光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により
高速な深堀エッチングが可能。
タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。
ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。
【特長】
■10mm□小片チップからφ6インチウェハ
■GaN 低ダメージエッチングが可能
■シンプル構造で低価格を実現
■高速な深堀エッチング可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報PECプロセス装置
【仕様】
■型式：PEC-6
■エッチング方式
・Photo-Electro Chemical：光電気化学
■適応ワーク：□10ｍｍ小片チップ、φ2～6インチ
■UVA光源：超高圧水銀灯315～400nm 15mW/sm2以上
■UVC光源：プラズマ光源220～320nm 12mW/sm2以上
■薬液供給：2ノズルエア圧縮方式エッチング液、リンス液
■外形寸法：1470（H）×650（W）×750（D）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログPECプロセス装置
取扱企業PECプロセス装置
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株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ・半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。
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