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最終更新日：2023-02-08 16:11:23.0

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PECプロセス装置

PECプロセス装置

PECプロセス装置 製品画像

当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。

光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により
高速な深堀エッチングが可能。

タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。
ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。

【特長】
■10mm□小片チップからφ6インチウェハ
■GaN 低ダメージエッチングが可能
■シンプル構造で低価格を実現
■高速な深堀エッチング可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

取扱会社 PECプロセス装置

株式会社三明 本社／静岡市、支店／東京・沼津・中部・大阪、営業所／横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸

産業用電機品・ロボット・制御装置・FAシステム・サーボ 半導体製造ラインの販売、電気計装工事の設計・施工。 自動化システムの総合メーカーとして事業展開。 (株)安川電機代理店。

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