JIB-PS500i FIB-SEMシステムアズサイエンス

試料作製、観察、分析の先端技術

日本電子株式会社 JIB-PS500iは、TEM試料作製をアシストする3つのソリューションを提供します。
試料作製からTEM観察まで、確実かつ高スループットなワークフローで作業することができます。

〇特長
・二軸傾斜カートリッジとTEM ホルダーによりTEM ⇔ FIBのリンクを容易に
・カートリッジは専用のTEM 試料ホルダーにワンタッチで装着可能
・正確かつ迅速にピックアップ作業可能
・TEM 試料作製からシームレスにSTEM観察に移行
・自動TEM試料作製システムSTEMPLING2により、TEM試料作製を自動化

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基本情報JIB-PS500i FIB-SEMシステム

【仕様】
■SEM
　像分解能：0.7 nm (15 kV)、1.4 nm (1 kV)、1.0 nm (1 kV、BD モード)
　倍率：×50 〜 ×1,000,000 (STD モード)、×1,000 〜 ×1,000,000 (UHR モード)
　　　　×10 〜 ×19,000 (LDF モード) (128 mm × 96 mm 写真サイズ表示時)
■FIB
　像分解能：3 nm (30 kV 時)
　倍率：×50 〜 ×300,000 (加速電圧により制限あり)

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型番・ブランド名	JIB-PS500i
用途／実績例	【用途】試料作製、TEM観察