[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

電子線プローブを走査しながら各点の電子回折パターンを測定することで、高空間分解能な結晶情報を取得できます。この手法では、SEMのEBSD法よりも小さい結晶粒の情報を得ることが可能です。ACOM（Automated Crystal Orientation Mapping）-TEM法とも呼ばれます。

結晶粒径解析が可能
測定領域の配向測定が可能
双晶粒界（対応粒界）の観察が可能
特定結晶方位の抽出が可能
隣接結晶粒の回転角の測定が可能
数nm以上の結晶粒を評価可能

基本情報[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

TEM試料に電子線を入射すると、TEM試料内に存在する結晶によって透過方向に電子回折パターンが形成されます。このパターンを連続的に取得・解析することで、各結晶粒の方位情報が得られます。

※TEM試料の厚みを薄膜化することにより、より小さい結晶粒を評価できます。

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用途／実績例	・多結晶薄膜の結晶粒径評価・アモルファス中に存在する結晶の粒径評価・結晶配向性評価

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取扱企業[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

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