メトラー・トレド株式会社 ホワイトペーパー『半導体業界における水の測定、制御、改善』
- 最終更新日：2023-05-18 15:59:19.0
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本資料は、半導体製造プロセスで使用される超純水・純水の
水質モニタリングに関するホワイトペーパーです。
代表的な純水分配システムや、
排水の回収・リサイクル・再利用を検討するべき理由などについて、
当社のTOCセンサ「6000TOCi」の特長や導入効果を交えて解説しています。
【掲載内容（抜粋）】
■半導体製造施設における水の使用量
■排水処理施設の課題
■水再生戦略
■排水の測定・制御・分離・収集
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基本情報ホワイトペーパー『半導体業界における水の測定、制御、改善』
【TOCセンサ「6000TOCi」特長】
■TOC変化の迅速な検知が重要な純水アプリケーションに好適
■測定値を毎秒更新するリアルタイム測定で、変動を見逃さないデータを提供
■実績のあるUV技術と高精度の導電率センサにより、再現性のある正確な測定が可能
■高度なシステム診断により、効果的なTOC測定を保証
■わずか8.5mL/minの流量で動作する水効率の高いセンサにより、高価な水の使用を抑制
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カタログホワイトペーパー『半導体業界における水の測定、制御、改善』
取扱企業ホワイトペーパー『半導体業界における水の測定、制御、改善』
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計量器及び分析機器の輸出入並びに販売 【研究向けソリューション】 電子天びん、ピペット、ソフトウェアソリューション、OIML分銅、ｐH計、自動滴定装置、熱分析装置、分光光度計、熱測定装置、水分計、反応熱量計、自動反応装置、 自動合成システム、超臨界流体クロマトグラフィー装置、インライン粒子測定装置、in-situ赤外分光光度計 【産業向けソリューション】 産業用台はかり、フロアスケール、ベンチスケール、トラックスケール、個数計、ソフトウェアソリューション、OIML分銅、自動寸法測定装置 【プロセス制御ソリューション】 工業用プロセス計測システム、インライン粒子測定装置、超純水比抵抗・導電率測定器、TOC（全有機炭素）計 【校正・技術サービス】 メンテナンスコントラクト、JCSS校正サービス（分銅・はかり）、性能証明サービス（ピペット）、規制適合支援サービス（EQ-Pac・IPac）、計量セミナー、コンサルティング、その他技術サポート
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