株式会社東レリサーチセンター 技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入
- 最終更新日：2023-05-22 15:50:27.0
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【要旨】
近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。この度、東レリサーチセンターに導入した新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。また、入射イオン種の増加、入射イオンの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上、重元素の質量分解能向上を実現した。本稿ではこれらの新機能について、事例とともに紹介する。
【目次】
１．はじめに
２．μRBSによる微小部組成分析
３．NRAによる軽元素の高感度測定
４．重元素の質量分解能向上
５．まとめ
基本情報技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入
技術情報誌 The TRC News「新規RBS装置の導入 –微小領域における高感度・高精度組成分析–」
【要旨】
近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。また、入射イオン種の増加、入射イオンの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上、重元素の質量分解能向上を実現した。本稿ではこれらの新機能について、事例とともに紹介する。
【目次】
１．はじめに
２．μRBSによる微小部組成分析
３．NRAによる軽元素の高感度測定
４．重元素の質量分解能向上
５．まとめ
【図表】
図1～図8
RGB各画素で取得したRBSスペクトル
各元素の質量分解能と感度（理論計算値）
SiON膜(100 nm)/Si基板：RBSスペクトル、NRAスペクトル
IGZO膜(300 nm)/Si基板：RBSスペクトル
IGZO膜のGa/Zn比の比較
| 価格情報 | 2,200円（税込） |
|---|---|
| 価格帯 | ~ 1万円 |
| 納期 |
即日 ※web申し込み、Paypal決済 |
| 用途／実績例 | https://www.toray-research.co.jp/technical-info/trcnews/ をご覧下さい |
取扱企業技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入
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■受託分析 ・分析対象：半導体・実装、ディスプレイ・プリンター、電池・エネルギー、自動車、工業材料、環境、ライフイノベーション、医薬、バイオ ■受託調査 ・調査対象：化学・材料、環境・エネルギー・ライフサイエンス、その他 ■教育事業 ・分析基礎講座：分光分析、顕微鏡、物性分析、医薬分析、クロマトグラフィー、有機分析、発生ガス、電池、実習付き講座等 ■製品販売 ・ピンポイント濃縮プレート
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