株式会社東レリサーチセンター 技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入

基本情報技術情報誌 202102-04 新規RBS装置の導入

技術情報誌 The TRC News「新規RBS装置の導入 –微小領域における高感度・高精度組成分析–」
【要旨】
近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。また、入射イオン種の増加、入射イオンの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上、重元素の質量分解能向上を実現した。本稿ではこれらの新機能について、事例とともに紹介する。
【目次】
１．はじめに
２．μRBSによる微小部組成分析
３．NRAによる軽元素の高感度測定
４．重元素の質量分解能向上
５．まとめ
【図表】
図1～図8
RGB各画素で取得したRBSスペクトル
各元素の質量分解能と感度（理論計算値）
SiON膜(100 nm)/Si基板：RBSスペクトル、NRAスペクトル
IGZO膜(300 nm)/Si基板：RBSスペクトル
IGZO膜のGa/Zn比の比較

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