株式会社東レリサーチセンター 技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。

【要旨】
近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ(magnetic tunnel junction)構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。
【目次】
1.はじめに
2.試料と評価方法
3-1.結晶性の変化
3-2.結晶配向の解析
3-3.面内結晶配向の解析
4.まとめ
5.謝辞
6.おわりに

基本情報技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC News「in-situ STEMを用いたMTJ膜の加熱分析」
【要旨】
高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ(magnetic tunnel junction)構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。
【目次】
1.はじめに
2.試料と評価方法
3-1.結晶性の変化
3-2.結晶配向の解析
3-3.面内結晶配向の解析
4.まとめ
【図表】
図1~図7
アニール温度とTMR比の関係
in-situ加熱測定により得られたBF-STEM像とFFTパターンおよびEELSラインプロファイル
in-situACOM-TEM測定結果
平面方向のACOM-TEM測定結果

価格情報 2,200円(税込)
価格帯 ~ 1万円
納期 即日
※web申し込み、Paypal決済
用途/実績例 https://www.toray-research.co.jp/technical-info/trcnews/
をご覧下さい

取扱企業技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

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■受託分析 ・分析対象:半導体・実装、ディスプレイ・プリンター、電池・エネルギー、自動車、工業材料、環境、ライフイノベーション、医薬、バイオ ■受託調査 ・調査対象:化学・材料、環境・エネルギー・ライフサイエンス、その他 ■教育事業 ・分析基礎講座:分光分析、顕微鏡、物性分析、医薬分析、クロマトグラフィー、有機分析、発生ガス、電池、実習付き講座等 ■製品販売 ・ピンポイント濃縮プレート

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