技術情報誌 202001-01 in-situ STEM 東レリサーチセンター

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。

【要旨】
近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。
【目次】
１．はじめに
２．試料と評価方法
３-１．結晶性の変化
３-２．結晶配向の解析
３-３．面内結晶配向の解析
４．まとめ
５．謝辞
６．おわりに

関連リンク - https://www.toray-research.co.jp/technical-info/tr…

基本情報技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC News「in-situ STEMを用いたMTJ膜の加熱分析」
【要旨】
高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。
【目次】
１．はじめに
２．試料と評価方法
３-１．結晶性の変化
３-２．結晶配向の解析
３-３．面内結晶配向の解析
４．まとめ
【図表】
図１～図７
アニール温度とTMR比の関係
in-situ加熱測定により得られたBF-STEM像とFFTパターンおよびEELSラインプロファイル
in-situACOM-TEM測定結果
平面方向のACOM-TEM測定結果

価格情報	2,200円（税込）
価格帯	~ 1万円
納期	即日 ※web申し込み、Paypal決済
用途／実績例	https://www.toray-research.co.jp/technical-info/trcnews/ をご覧下さい

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