株式会社東レリサーチセンター 技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

基本情報技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

技術情報誌The TRC News「シリカ表面のシラノール基の定量」
【要旨】
シリカ表面にはシラノール基と呼ばれる水酸基が結合したケイ素（Si-OH）が存在しており、撥水、親水といった物理的特性の大きな一因を担っている。また、シランカップリング剤を結合させることで表面の化学的特性を改良し、樹脂充填材として汎用されている。したがって、このシリカ表面シラノール基は、シリカ単体の性質に留まらず、材料全体の性能を左右する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。
【目次】
１．はじめに
２．原理
３．シリカ粒子の反応性シラノール基の定量
４．シリコンウエハの表面シラノール基の定量
５．シラノール基量の加熱による変化
６．まとめ
【図表】
図１～４　表１～６
反応性シラノール基密度
シリカケイ素の構造
固体29Si NMRスペクトル
反応性・非反応性シラノール基密度
シラン処理シリコンウエハのXPSスペクトル
シリコンウエハのシラノール基比率
加熱シリカ粒子のシラノールシラノール基密度
加熱シリコンウエハのシラノール基比率

• お問い合わせ

取扱企業技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

株式会社東レリサーチセンター

■受託分析 ・分析対象：半導体・実装、ディスプレイ・プリンター、電池・エネルギー、自動車、工業材料、環境、ライフイノベーション、医薬、バイオ ■受託調査 ・調査対象：化学・材料、環境・エネルギー・ライフサイエンス、その他 ■教育事業 ・分析基礎講座：分光分析、顕微鏡、物性分析、医薬分析、クロマトグラフィー、有機分析、発生ガス、電池、実習付き講座等 ■製品販売 ・ピンポイント濃縮プレート

TEL・住所

• この企業の製品・サービス一覧を見る(68件)

• 公式サイト