ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置！大面積で一括照射、高照射が可能！
『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける
フラッシュランプアニール装置です。
ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、
ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)。
ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、
高照射が可能です。
【特長】
■深さコントロール(バルス制御)
■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御
■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)
■複数パルスの照射も可能
■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』
【仕様(抜粋)】
＜実験用／大面積用＞
■照射エリア(mm)：100×150／500×500
■照射エネルギー(J／cm2)：～40／～4
■均一度(%)：75以上／90以上
■パルス幅設定範囲(msec)：1～60
■発光周期(sec)：60以上／6.5以上
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■結晶化 ■剥離 ■酸化膜形成 ■焼成 ■接着 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログフラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』
取扱企業フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』
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