光加熱　総合カタログ

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、食品の保温（加熱）の事例紹介です

【特徴】
○ハロゲンランプヒータは点灯することで
　可視光と赤外線、つまりあかりを照射するとともに
　熱放射を行う。この特性を利用し食品の保温を兼ねた
　ショーケースとして利用される
○投入するエネルギー量のよっては、保温のみならず
　加熱調理用電源としての利用も可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源
太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です

【特徴】
○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は
　焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用
○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において
　長年実績を積んだ長尺ヒータは
　各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用

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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、浴室乾燥の事例紹介です

【特徴】
○浴室乾燥機にハロゲンヒータを採用
○ハロゲンヒータの光は輻射熱として照射されるため
　温風タイプとは異なり、周囲環境に左右されにくく
　点灯直後から暖かく感じることができる
○ヒータの電極部分はシリコン接着剤を使用した
　耐水構造を施しており、高湿度環境下でも信頼性を
　損なうことなく、使用することが可能

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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例（高速昇降温加熱）のご紹介です

【特徴】
○使用光源：ハロゲンランプヒータ
○熱容量が小さく、3000K以上のフィラメントから照射される
　輻射光により、高温/急速昇降温といった加熱特性に優れた熱源
○半導体や耐用電池の熱処理プロセスにおいて
　酸化膜形成、不純物拡散、シリサイド形成、電極焼成など
　多くの工程で使用される

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です

【特徴】
○使用光源：ハロゲンランプヒータ
○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける
　金属膜、絶縁膜の形成に用いられる
　CVDやスパッタリング装置の熱源として最適
○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを
　用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現

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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例（接合）のご紹介です

【特徴】
○使用光源：ハロゲンランプヒータ
○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用
○ハロゲンヒータの光は輻射熱として
　照射されるため、温風タイプとは異なり
　周囲環境に左右されにくく
　短時間で所定温度まで昇温が可能
○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している

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統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例（不純物拡散）のご紹介です

【特徴】
○使用光源：クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ
○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い
　その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化
○クセノンフラッシュランプの特性を活かし
　ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して
　極めて浅い部分（nmオーダー）を高温アニールし
　不純物の拡散を防ぐことが可能

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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例（乾燥）のご紹介です

【特徴】
○使用光源：ハロゲンランプヒータ
○ハロゲンランプヒータの非接触・クリーンで
　高速昇温性を持つ光加熱方式により
　金属箔など、ホコリ、ゴミが許されない製品の乾燥において
　従来の熱風式過熱炉にとってかわりつつある
○溶剤、インキ、印刷物の乾燥た鋼板の塗装乾燥
　自動車塗装の乾燥用途に有効

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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。

かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが
ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり
アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。

また、次世代半導体においては、熱流束技術として
フラッシュランプアニールが主流となっています。

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統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。

真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った
ハロゲンランプヒータを使用することにより
半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において
タクトタイム短縮に貢献することができる

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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、電極の焼成の事例紹介です。

ハロゲンヒータを使用することで、ハロゲンヒータが持つ
高速昇温性、配熱分布や放射波長により
基板や電極材料の特性にマッチした熱処理を行うことができる

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伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です

【特徴】
○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄
　液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される
　純水や薬液を保温・加湿することが可能
○高品質の石英ガラスで2重に覆われた
　ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく
　加熱効率95％以上と高効率に加熱することが可能

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当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を
掲載しております。

広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、
シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ
「QIR Circle」などをラインアップ。

その他にも「フラッシュランプアニール装置　SUS980 シリーズ」と
「LED アニール装置」についてもご紹介しています。

【掲載内容(一部)】
■光加熱とは
■赤外線ハロゲンヒータ
■赤外線ハロゲンヒータの用途
■赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工
■直管形ハロゲンヒータランプ　QIR

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を
アニールする光応用加熱装置です。

UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの
光により、0.1～60msecの範囲を任意に可変可能。

焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に
お使いいただけます。

【特長】
■スペクトル
・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性
■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度)
・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、
　大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

物質を構成する分子は、常に振動を繰り返すことによって物質そのものの
温度を保っています。

そして、この運動に一定の光を照射するとさらに振動が大きくなり、
それに比例して発生する熱も多くなります。これが「光加熱の原理」です。

熱伝達は物理的に三種類に限られ、光加熱は「放射伝熱」にあたります。
光加熱の得意とする分野とプロセスは熱処理、DEGAS、反応、蒸着、乾燥になります。

【熱伝達の三原則】
■熱伝導
・物質中で、物質の移動や放射によるエネルギー輸送なしに、温度差に基づいて
　熱が移動する現象
■対流伝熱
・流体の実質の流れによって熱が伝えられる現象
■放射伝熱
・熱放射と熱吸収によって熱が伝えられる現象

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ハロゲンランプヒーター』は、投入電力の85%以上を赤外線に変換、
放射する高効率なランプ式放射加熱源です。

消費電力の抑制は、ランニングコストの低減を実現。

熱容量の小さなタングステンフィラメントを発熱体とし、非接触での
高速昇降温が可能です。また、常時電力を消費する抵抗加熱源と異なり、
必要時ON、不要時OFFが可能であり、ランニングコストを低減します。

【特長】
■高効率なエネルギー源
■優れた昇降温性能
■材料吸収特性にマッチングした光波長
■高いコントロール性能
■小型・クリーンな熱源
■長寿命で一定のエネルギー放射

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大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能な
『フラッシュランプ』についてご紹介します。

当製品による光加熱は、物質の持つ「反射」、「透過」、「吸収」の
特性のうち、「吸収」の特性を利用して自己加熱させるものです。

また、非接触であるためクリーンな雰囲気を保ち、大気中・真空中など
加熱雰囲気も問いません。

【特長】
■大面積一括照射
・大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能
■高効率／省エネルギー
・当製品からの波⻑はSiの吸収特性に合致するため、効率よく昇温が可能
■パルス制御による処理深さのコントロール
・基板の熱ダメージを最小限に抑え、表層のみ加熱することが可能

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10nm（10×10－9m）～10万nmの波長をもつ電磁波を「光」といい、
この波長域の電磁波を発生する放射体をすべて「光源」といいます。

わたしたちが、ふつうに光といえば、可視光線をさしていますが、
これは400nm～750nmの波長を持つ電磁波で、これより短かい波長
（10nm～400nm）の光は紫外線、長い波長（750nm～10万nm）の光は
赤外線と呼ばれています。

続きは、関連リンクをご覧ください。

【掲載内容（一部）】
■1. 光とハロゲン電球
■2. ハロゲン電球（HALOGEN LAMP）
■3. ハロゲン電球の特長
■4. ハロゲン電球の品種構成
■5. ハロゲン電球の構造と各部の名称

※当論文の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。
　詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ハロゲンランプが寿命となる主な原因は次のものである。

(1)黒化による照度低下 (2)フィラメント溶断 (3)サグによる
コイルピッチ・ショート (4)シール部の故障

これらのうち、最初の3つの原因による寿命要因はハロゲンサイクルに
関係することが知られていたものの、その理解は大変貧しいものでした。

しかし、最近FourierTransform Infrared(FT-IR) Spectroscopyによって、
それらの寿命要因となるガスフェーズの測定が発表され、寿命となる
運動学的モデルがかなり明らかになってきました。

【掲載内容（一部）】
■1．はじめに
■2．点灯中のCOとHBrガスの振る舞い
■3．ランプ点灯中の酸素放出と寿命
■4．COレベルと寿命
■5．HBrレベルと寿命

※当論文の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。
　詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『赤外線ハロゲンヒータ』は、優れた特性を活かして、樹脂成形分野をはじめ
自動車分野やPV分野、半導体分野など、さまざまな分野で利用されています。

シリコンやガラス、鋼鈑や炭素繊維などを加熱することが可能。

樹脂成形分野では、加熱対象はPET材や非球面レンズで、金型予備加熱や
ペットボトル成型などに使用されています。

【特長】
■高効率なエネルギー源
■すばやい立ち上がり、立ち下がり
■光だからコントロール性が高い
■小型、クリーンな熱源
■各種の配熱パターンや昇温スピードに対応

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赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工についてご紹介いたします。

加熱装置・ユニットに組み込む熱源として、目的、用途、使用環境に合わせて
カスタマイズが可能。

加熱対象物の形状、照射範囲などから選択できるヒータユニットを取り揃えております。

【ヒータランプ種類】
■サークル形ヒータランプ
■直管形ヒータランプ
■スポットヒータランプ
■シングルエンドヒータランプ

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『直管型ハロゲンヒータランプQIR』は、線状加熱に加え、複数本並べて
使用することで、広い範囲を平面加熱することが可能です。

ガラス、建材などの加熱装置用熱源としても好適。短尺から長尺まで、
さまざまなサイズ、特性に応じた設計ができます。

オーダーメイドシステムでは、最長2200mmまで任意の寸法、波長、設置条件、
特性に合わせて設計可能です。

【特長】
■線状加熱に加え、複数本並べて使用することで、広い範囲を平面加熱できる
■ガラス、建材などの加熱装置用熱源としても好適
■短尺から長尺まで、さまざまなサイズ、特性に応じた設計が可能
■最長2200mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの
高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。

円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、
特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。

オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、
設置条件、特性に合わせて設計できます。

【特長】
■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ
■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる
■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能
■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社で取り扱う『異形ハロゲンヒータランプ（コの字）』について
ご紹介いたします。

目的の加熱プランに合わせて、コの字、弓形など、さまざまな形状、
サイズの封体加工、フィラメント設計要望に対応。

「QIR400V2500WU」と、「QIR400V3500WU」をご用意しております。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【QIR400V2500WU 仕様（抜粋）】
■定格電圧：400V
■消費電力：2500W
■定格寿命：5000h
■色温度：2800K
■全長（接点間）：250mm
■管径：10Φmm

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『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を
高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが
できるランプです。

また、二重管構造は、ランプ破損時の飛散を防ぐなど、安全性を高められることから、
フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適。

オーダーメイドシステムでは、任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて
設計できます。

【ラインアップ】
■QIRT100V500W
■QIRT100V700W
■QIRT200V2000W
■QIRT200V2000WL

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ランプの特殊加工では、熱の拡がりや強度分布、必要な波長、使用する環境など、
用途と目的に合わせたカスタマイズが可能です。

光（熱）の拡がりを変える場合では、「反射膜コーティング」、「熱分布設計」
「フロスト加工」で対応。

他にも、光（熱）の波長を変える「遠赤外線を放射するブラックコーティング」や、
使用環境に合わせる「全方位点灯可能なディンプル加工」などが可能です。

【加工例（抜粋）】
■反射膜コーティング
■熱分布設計
■フロスト加工
■遠赤外線を放射するブラックコーティング
■必要な波長にする

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赤外線ハロゲンヒータの波長・寿命についてご紹介いたします。

ピークの波長は2897÷色温度(K)で求めることができ、ハロゲンヒータの
色温度を変えることにより、さまざまな波長に対応することが可能。

寿命は、フィラメントの溶断のほか、シール部の故障も要因になります。
「ハロゲンサイクル」で、バルブ壁の黒化を抑制し、フィラメントの
消耗を防止。

コンパクトで長寿命、これがハロゲンランプの特長です。

【特長】
■波長は近赤外線(約1.2μm)がピーク
■ピークの波長は2897÷色温度(K)で求めることができる
■ハロゲンヒータの色温度を変えることにより、さまざまな波長に対応可能

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赤外線ハロゲンヒーターの制御方法についてご紹介いたします。

ハロゲンヒータを点灯する場合に使用する点灯制御方式として、代表的なものは
「ソフトスタート機能付き位相制御方式」と「ゼロクロス機能付きサイクル制御方式」
があります。

「ソフトスタート機能付き位相制御方式」は、交流電源の半サイクル毎の導通時間
(点弧角）を制御。

「ゼロクロス機能付きサイクル制御方式」では、一定周期（通常は選択可能）
の中で、オン期間とオフ期間との比率を調節することにより、ハロゲンヒータの
発熱量を制御します。

【ソフトスタート機能付き位相制御方式 特長】
■交流電源の半サイクル毎の導通時間（点弧角）を制御して、
　ハロゲンヒータの発熱量を制御
■電圧を段階的に可変でき、ソフトスタート制御が可能
■突入電流の影響が少なくできる
■高調波の発生により、周囲の電子機器を誤作動させる恐れがあり、配慮が必要

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『ラインヒータユニット』は、ヒータランプとミラーを組み合わせ、
ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮する製品です。

寸法、特性を絞り込んで規格化したことで、コストパフォーマンスが高く、
試作検証や実験などに導入しやすくなっています。

また、必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■ヒータランプとミラーを組み合わせ、ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮
■寸法、特性を絞り込んで規格化
■コストパフォーマンスが高い
■試作検証や実験などに導入しやすい
■必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応

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『高出力ラインヒータユニット（オーダーメイド）』は、500℃を超える高温域での
光コントロールを可能にする高出力な製品です。

ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、
冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応。

ミラー形状は、フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、
パラボラタイプ N（コンパクト型・金メッキミラー仕様）をご用意しております。

【特長】
■500℃を超える高温域での光コントロールを可能にする高出力なラインヒータユニット
■特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応
■フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、パラボラタイプ Nをご用意
■パラボラタイプは広い面積を均一に照射可能

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『サークルヒータユニット』は、主にシリコンウェハの急速加熱や
ガラスレンズの成形前加熱などに好適な製品です。

3次元反射光シミュレーションを経て設計された反射鏡とランプを
適切に配置。優れた加熱均一性と昇温性能を持っています。

ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【UL-HU-CH36KW/STD 仕様（抜粋）】
■定格電圧：200V
■消費電力：36kW
■ユニット外径：470mm
■ユニット奥行：235.5mm
■重量：30kg

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『スポットヒータユニット』は、高効率反射ミラーとハロゲンヒータランプを
組み合わせ、熱線の指向性を高めた製品です。

コンパクトかつ軽量設計でどこにでも容易に設置できるスポットタイプ。

ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■高効率反射ミラーとハロゲンヒータランプの組み合わせ
■熱線の指向性を高めた製品
■コンパクトかつ軽量設計
■どこにでも容易に設置できる
■スポットタイプ

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『遠赤外線融雪ヒータユニット』は、熱変換効率が高く、光（遠赤外線）による
輻射加熱が可能なハロゲンヒータを熱源とし、高い融雪効果を発揮する製品です。

複雑なシステムを必要としないので、導入コストが低減。場所を選ばず、既設の
建築壁面やボールなどにも簡単に取り付けられます。

電気制御式なので、降雪センサーやタイマーによる自動化も可能。
ランニングコストを抑えた融雪システムを構築できます。

【特長】
■光加熱で高効率スポット融雪
■場所を選ばず、簡単設置
■低コスト導入支援
■融雪自動化にも対応

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当社で取り扱う、『ハロゲンヒータユニット用制御盤』をご紹介いたします。

ハロゲンヒータを用いた温度制御システムで、コンパクトサイズながら
高機能を搭載。

細かなレシピ(センサ切替、制御モード)により、自在性のある温度制御も可能です。
実験研究用途から量産までサポートします。

【簡易実験型 仕様(抜粋)】
■適用：実験/研究
■接続方法：スタンドアローン
■電力制御方式：位相制御
■出力調整方法：マニュアル
■レシピ：無

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『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける
フラッシュランプアニール装置です。

ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、
ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)。

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、
高照射が可能です。

【特長】
■深さコントロール(バルス制御)
■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御
■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)
■複数パルスの照射も可能
■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度)

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『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ
第三の光加熱源です。

加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。
放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。

また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。

【特長】
■加熱効率向上
■高速応答性
■高精度温度計測
■高均一性
■基板表面の加熱が可能

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