コヒレント・ジャパン株式会社 【応用事例】半導体製造 製造工場をサポート
- 最終更新日：2024-06-18 11:49:32.0
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先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで！半導体製造 製造工場をサポート
当社の製品は、欠陥の特定および回避、Low-k誘電体などの高度な材料の
加工により、先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで
製造工場をサポートします。
幅広い製品ラインアップの短波長レーザにより高解像度を実現可能。
出力の向上とレーザの短波長化により、欠陥検知感度の向上と処理の
高速化を実現しています。また、当社のUV/DUVレーザは、卓越した
経験に裏打ちされた優れた信頼性を備えています。
【目的別ラインアップ(一部)】
■ウェハ検査
・PALADINシリーズ
■マスクライティング
・INDYSTAR
・GENESIS
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基本情報【応用事例】半導体製造 製造工場をサポート
【その他目的別ラインアップ(抜粋)】
■マスク検査
・AZURE NX
・INDYSTAR
・INNOVAシリーズ
・OBIS CORE LS
■ウェハレーザアニーリング
・DCシリーズ
・REVOLUTION
・COMPEX
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| 用途／実績例 | ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ【応用事例】半導体製造 製造工場をサポート
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米国COHERENT Corp社製レーザの輸入販売業務及び技術サービス
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