アイクリスタル株式会社 【導入事例】GaN製造装置のガスノズルの設計最適化
- 最終更新日:2023-06-30 16:27:45.0
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計算時間を大幅に短縮!プロセスインフォマティクス導入事例をご紹介!
「GaN(ガリウムナイトライド)」とは、5G基地局の電源としても採用が
期待されている、パワー半導体です。薄切りの円盤のウエハとして使われるのが
一般的ですが、最初に製造する状態は円柱形です。
GaNの円柱は、下から空いた穴からGaNの原料となるガスを噴出し、結晶を
成長させます。実際の穴は100個以上で、無限の組み合わせがあります。
シミュレーションをすると、それにかかるのは1条件なんと6時間。1000通りやると
6000時間=250日とかなりの時間が奪われてしまいます。
そこで活躍するのが、アイクリスタル社の「プロセスインフォマティクス」です。
ランダムに作った1000通りのシミュレーション結果をAIに学習させることで、
計算時間を大幅に短縮します。その時間なんと、1条件につきわずか1秒。
AIにより計算時間を大幅に短縮できたことで、10000通りもの条件を
たった3時間程度で計算可能に。これによりガス条件・穴の配置を最適化でき、
成長速度をなんと3倍にすることに成功しました。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報【導入事例】GaN製造装置のガスノズルの設計最適化
【事例概要】
■ランダムに作った1000通りのシミュレーション結果をAIに学習させることで、
計算時間を大幅に短縮
■1条件につきわずか1秒
■ガス条件・穴の配置を最適化でき、成長速度を3倍にすることに成功
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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