東北大学技術：λ型Ti3O5薄膜：T20-3141 東北テクノアーチ

比較的容易に作製可能、大面積(5×5mm以上)、安定して相転移を確認

λ-Ti3O5は可視光で光誘起相転移を示す初の酸化物材料であり、従来のカルコゲナイド材料に比較して環境負荷が小さいため、CD, DVD,BDなどの光記録材料への応用が期待される。しかし現状ではλ-Ti3O5が準安定相であるため、作製できる結晶の大きさがナノメートルオーダーに制限されている。
本発明は、TiO2を原料とし、パルスレーザー堆積(PLD)法において、実施可能な程度に容易な工夫を施すことで、デバイス応用が期待される大面積（5×5mm以上）のλ-Ti3O5薄膜を提供することを可能とする。
また従来法では基板上に直接λ-Ti3O5を作製することができず、中間にシード層が必要であったため、シード層の成分がλ-Ti3O5に拡散し、相転移を示さないことが問題であった。それに対して本発明は、シード層を介さず基板上に直接λ-Ti3O5薄膜を作製することができるため、安定して相転移を示すものである。

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基本情報東北大学技術：λ型Ti3O5薄膜：T20-3141

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