一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 【分析事例】発光寿命測定によるキャリアライフタイム評価
- 最終更新日：2023-08-24 12:34:37.0
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キャリアライフタイムとは、電子デバイスの動作の際に生じる過剰キャリアの内、少数キャリアが1/eになるまでの時間です。これを適切に制御することがデバイスの電気特性をコントロールする上で重要です。
一方、発光寿命とは試料からの発光強度が1/eになるまでの時間を示し、発光減衰曲線から算出可能です。少数キャリアの一部は再結合時に発光するため、発光寿命測定から間接的にキャリアライフタイムの評価が可能です。本資料では4H-SiCエピ基板のキャリアライフタイム評価の事例を紹介します。
測定法：蛍光寿命測定
製品分野：パワーデバイス、LSI・メモリ、電子部品
分析目的：故障解析・不良解析、製品調査、キャリアライフタイム、プロセス評価
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基本情報【分析事例】発光寿命測定によるキャリアライフタイム評価
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| 用途／実績例 | パワーデバイス、LSI・メモリ、電子部品の分析です。 |
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