株式会社東北テクノアーチ 東北大学技術：振動子におけるＱ値のトリミング方法：T19-369
- 最終更新日：2023-09-05 09:48:24.0
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直交する複数モードのQ値を調整する技術
ジャイロ装置に用いられる２次元振動子は、ｘ軸方向とｙ軸方向のＱ値を整合させる必要があるものの、製造誤差等に起因してそれらのＱ値が僅かに異なる場合がある。このため、x,y軸方向それぞれのＱ値を独立して制御できることが望まれる。
振動子においては、振動によって熱流が発生し，この熱流によってQ値が影響される(熱弾性損失)。そのため、構造中に熱流の経路を追加したり、熱流を遮断することでQ値の調整が可能になる。
本発明の2次元振動子は、基本的な振動子構造に加えて、剛性を大きく変化させること無く，熱流のみを制御するための，加工可能部材が予め設けられている。これらの加工可能部材を適宜切断することにより、互いに直交する第１モードおよび第２モードにおけるそれぞれのＱ値を独立して制御可能とする。
基本情報東北大学技術：振動子におけるＱ値のトリミング方法：T19-369
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