株式会社東北テクノアーチ 東北大学技術:多用途MEMSジャイロセンサ:T15-153他

新構造により、高精度・多用途を実現

 本発明は、ジャイロセンサのうち、FMジャイロセンサに関する。
 従来のFMジャイロセンサは、温度変化や部材の製造誤差によって、測定精度が下がるという課題があった。これは、センサに用いる振動子を2つ用いるために、それら振動子間に生じる温度変化の差や、製造誤差によって、振動子の特性を同一に保てないことに起因していた。
 これに対して本発明では、振動子を単一とし、異なるモードの振動を印加しすることで、上記の課題を解決する。
 本発明を用いるジャイロセンサは、上記の通り測定精度が高いのみなら
ず、原理上、磁気センサや圧力センサとしても機能することができ、産業上の優位性をもつと考えれらる。
 上記ジャイロセンサ、磁気センサ、圧力センサ各種で特許取得・出願している。

基本情報東北大学技術:多用途MEMSジャイロセンサ:T15-153他

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カタログ東北大学技術:多用途MEMSジャイロセンサ:T15-153他

取扱企業東北大学技術:多用途MEMSジャイロセンサ:T15-153他

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○東北大学等の技術移転業務

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