東北大学技術：全方位走査ミラー：T19-571 東北テクノアーチ

非線形運動をなくし、安定な制御を可能にするマイクロスキャナ用MEMSミラー

近年、LiDAR(Light Detection and Ranging) 等の光センサーシステムの小型化等のため、MEMS走査ミラーを用いたマイクロスキャナの開発が激化している。MEMSミラーデバイスの一種である全方位走査ミラーは、自動運転車に搭載するLiDAR用途への応用が期待され、研究が行われている。その実現形態の一つとしては、互いに直交する2つの軸を有する「ジンバル」の技術を利用してミラー部を回転させるものがある。しかしながら、互いに直交する2つの軸周りの回転が互いに干渉し合い、非線形の動きが発生するため、ミラー部の動きを安定して制御することができないという課題があった。本発明によって、ミラー部の動きを安定して制御することができる全方位走査ミラーを提供することが可能となった。本発明の全方位走査ミラーは、ミラー部と回転軸と支持部を有し、ミラー部の安定を制御するために慣性モーメントテンソルの垂直成分が一定範囲内にあることを特徴とする。

関連リンク - https://www.t-technoarch.co.jp/anken.php

基本情報東北大学技術：全方位走査ミラー：T19-571

詳細は、お問合せ又はPDFをご覧ください。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	詳細は、お問合せ又はPDFをご覧ください。